本發(fā)明提供了一種晶圓的虛擬打墨方法,首先基于晶圓的不良晶粒的數(shù)量和分布方式判斷晶圓是否需要進(jìn)行針對(duì)晶圓測(cè)試的虛擬打墨,若是,則分析晶圓的失效來(lái)源,當(dāng)無(wú)法分析出晶圓的失效來(lái)源時(shí),對(duì)每個(gè)不良晶粒周?chē)闹辽俨糠志Я>M(jìn)行虛擬打墨,當(dāng)分析出晶圓的失效來(lái)源時(shí),基于晶圓的失效來(lái)源對(duì)晶圓劃分子區(qū)域,并基于不良晶粒的分布方式對(duì)至少部分子區(qū)域中的所有晶粒整體進(jìn)行虛擬打墨。本發(fā)明不需要人工參與,虛擬打墨的規(guī)則統(tǒng)一,避免人工操作的差異和誤操作,提高了虛擬打墨的效率。
聲明:
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