本發(fā)明提供了一種掩膜板修復方法及掩膜板組件,掩膜板修復方法包括將掩膜板主體與基板對位,之后檢測掩膜板上開口的偏位情況,檢測步驟包括:對位檢測設備抓取掩膜板主體上的開口邊緣坐標,將開口邊緣坐標與存儲器中相應的預設開口邊緣坐標進行比對,根據(jù)開口邊緣坐標與預設開口邊緣坐標的比對結(jié)果獲取開口邊緣與相應的預設開口邊緣之間的偏位情況,其中,開口的偏位情況包括開口邊緣位于相應的預設開口邊緣的內(nèi)側(cè)以及開口邊緣位于相應的預設開口邊緣的外側(cè),之后根據(jù)掩膜板上開口的偏位情況進行處理以使得開口符合預設開口標準。該掩膜板修復方法能夠修復掩膜板上開口的偏位問題,避免制作的目標膜層失效的問題。
聲明:
“掩膜板修復方法及掩膜板組件” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)