本發(fā)明涉及一種MEMS可靠性評(píng)估方法，上述MEMS可靠性評(píng)估方法，包括如下步驟：獲取MEMS的懸臂梁失效率、芯片失效率以及封裝失效率；對(duì)MEMS內(nèi)的元器件進(jìn)行測(cè)量，獲取所述MEMS的振動(dòng)系數(shù)、溫度系數(shù)、溫度幅值系數(shù)、循環(huán)率系數(shù)；根據(jù)所述懸臂梁失效率、芯片失效率、封裝失效率、振動(dòng)系數(shù)、溫度系數(shù)、溫度幅值系數(shù)、循環(huán)率系數(shù)代入設(shè)定的評(píng)估模型獲取MEMS的可靠性。本發(fā)明提供的MEMS可靠性評(píng)估方法，通過獲取MEMS的懸臂梁失效率、芯片失效率以及封裝失效率；并對(duì)MEMS內(nèi)的元器件進(jìn)行測(cè)量，獲取所述MEMS的振動(dòng)系數(shù)、溫度系數(shù)、溫度幅值系數(shù)、循環(huán)率系數(shù)，進(jìn)一步評(píng)估MEMS的可靠性，使MEMS可靠性的評(píng)估無需經(jīng)過通過大量試驗(yàn)，可以有效提高評(píng)估的效率。