本發(fā)明提供一種監(jiān)控化學(xué)氣相沉積前腔體潔凈度的方法,其利用一種會(huì)因?yàn)榍惑w潔凈度而導(dǎo)致消光系數(shù)值產(chǎn)生變化的材質(zhì)如氮氧化硅來(lái)作為一監(jiān)控層,通過(guò)經(jīng)過(guò)兩次不同時(shí)間長(zhǎng)度的清洗工藝后所沉積氮氧化硅層進(jìn)行消光系數(shù)值測(cè)量,觀(guān)察兩氮氧化硅層的消光系數(shù)值的差異,來(lái)對(duì)腔體潔凈度進(jìn)行監(jiān)控,以簡(jiǎn)便的方式控制腔體的潔凈度,降低了因微塵粒而產(chǎn)生組件失效的危險(xiǎn),提高了效率。
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