本發(fā)明公開了一種高分辨率微顯示器缺陷修復(fù)方法,所述方法具體包括如下步驟:S1、定義亮點(diǎn)的亮度閾值,定位微顯示器中的亮點(diǎn)坐標(biāo);S2、將亮點(diǎn)坐標(biāo)導(dǎo)入聚焦粒子束設(shè)備,聚焦粒子束設(shè)備對(duì)亮點(diǎn)坐標(biāo)對(duì)應(yīng)的像素進(jìn)行缺陷修復(fù)。本發(fā)明通過使用自動(dòng)點(diǎn)屏和光學(xué)測試設(shè)備自動(dòng)定位缺陷坐標(biāo),F(xiàn)IB設(shè)備根據(jù)缺陷坐標(biāo)自動(dòng)定位,F(xiàn)IB直接沉積遮擋層或者先切割再沉積保護(hù)層,從而實(shí)現(xiàn)缺陷的自動(dòng)定位和自動(dòng)修補(bǔ),解決了激光修補(bǔ)精度差,不能修補(bǔ)微顯的問題,同時(shí)避免了激光修補(bǔ)熱效應(yīng)導(dǎo)致的鄰近像素失效和封裝失效的問題。
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