本發(fā)明為一種LTCC光纖法珀高溫壓力傳感器,主要由基座、壓力敏感膜片、光纖、插芯及尾柄組成。本發(fā)明采用LTCC技術(shù)一體化制造直接接觸高溫的壓力敏感膜片和基座,用高溫膠水將光纖固定在尾柄及插芯內(nèi),采用陶瓷燒結(jié)技術(shù)或高溫膠水將插芯與基座連接,使光纖端面與壓力敏感膜片平行放置構(gòu)成法珀腔,通過光纖傳感技術(shù)測量壓力導(dǎo)致的膜片撓度變化,從而進(jìn)行壓力測量。本發(fā)明解決了高溫下熱應(yīng)力不匹配導(dǎo)致的傳感器失效問題。另外,采用光纖傳輸可以隔絕高溫,消除高溫對信號處理電路的影響。在超高溫環(huán)境下,所制作的壓力傳感器可以實現(xiàn)寬頻帶的原位壓力測量。
聲明:
“LTCC光纖法珀高溫壓力傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)