本發(fā)明屬于先進(jìn)傳感器技術(shù)研究中的傳感器優(yōu)化設(shè)計(jì)的技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種具有自保護(hù)功能的硅?藍(lán)寶石壓力傳感器敏感結(jié)構(gòu)。本發(fā)明提出了一種具有自保護(hù)功能的硅?藍(lán)寶石壓力傳感器結(jié)構(gòu),主要用于解決高壓測量時(shí)由于壓力超出量程范圍而造成傳感器敏感膜片損壞,進(jìn)而導(dǎo)致傳感器失效的問題。該傳感器結(jié)構(gòu)主要包括鈦合金殼體、鈦合金應(yīng)變膜片、藍(lán)寶石膜片、單晶硅應(yīng)變電阻、鈦合金保護(hù)膜片、金屬引線和支架。藍(lán)寶石膜片上設(shè)置有單晶硅應(yīng)變電阻,通過金屬引線連接成電橋,并引出到傳感器殼體外。本發(fā)明采用雙膜片結(jié)構(gòu),可以有效保護(hù)壓力傳感器敏感膜片,避免其在被測壓力超出壓力量程范圍時(shí)損壞。
聲明:
“具有自保護(hù)功能的硅?藍(lán)寶石壓力傳感器敏感結(jié)構(gòu)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)