本發(fā)明屬于光纖光柵傾角傳感器設(shè)計(jì)技術(shù)領(lǐng)域,公開(kāi)了一種真空封裝的光纖光柵傾角傳感、制造方法及應(yīng)用,所述真空封裝的光纖光柵傾角傳感器,包括應(yīng)變懸臂梁、擺錘、測(cè)量光纖光柵、傳感器瓶蓋以及傳感器;所述真空封裝的光纖光柵傾角傳感器的制造方法包括:制作傳感器應(yīng)變懸臂梁;在應(yīng)變懸臂梁上對(duì)光纖光柵進(jìn)行封裝;傳感器整體的拼裝與封接。本發(fā)明采用玻璃封裝的光纖光柵傳感器,外殼制造相比于傳統(tǒng)金屬價(jià)格更加低廉,在制作工藝上更易于將外殼內(nèi)部環(huán)境制成真空,防止內(nèi)部基片發(fā)生腐蝕,耐久性強(qiáng);在封裝工藝上,將環(huán)氧樹(shù)脂替換成為封接玻璃粉;光纖光柵元件不會(huì)因?yàn)榉庋b體的老化脫落粘貼失效而損壞;并且在測(cè)量結(jié)構(gòu)里無(wú)需再添加溫度補(bǔ)償光柵。
聲明:
“真空封裝的光纖光柵傾角傳感器、制造方法及應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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