本實用新型公開了原位清潔PLD
電化學(xué)表征系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括:脈沖激光沉積腔室、激光發(fā)射裝置、電化學(xué)工作站、反射高能電子衍射儀、配套使用的熒屏和CCD相機、真空手套箱和抽真空設(shè)備。該系統(tǒng)將電化學(xué)工作站集成到PLD設(shè)備中,不僅能夠精確制備結(jié)構(gòu)致密且界面清晰的超清潔薄膜圖案電極,還能夠原位精確地對樣品進行在不同氣氛和不同濕度下的性能測試和表征;此外將脈沖激光沉積(PLD)腔室和真空手套箱連接起來,能夠維持樣品表面高的潔凈度,為后續(xù)其它性能表征提供高潔凈度的樣品,提高測試的準(zhǔn)確性。由此,對理解器件失效原因和性能提升以及器件的工業(yè)生產(chǎn)和應(yīng)用具有重大意義。
聲明:
“原位清潔PLD電化學(xué)表征系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)