本實用新型涉及一種多弧離子鍍真空電弧自動引弧裝置,該裝置可以在鍍膜開始,進(jìn)行自動引弧;在鍍膜過程中,電弧熄滅或有熄滅的趨勢時,由反饋單元監(jiān)測電弧工作狀態(tài)并將其作為識別信號用于控制單元作出判斷是否發(fā)出引弧信號,從而保證薄膜沉積過程的順利進(jìn)行,消除由于電弧熄滅而造成的反應(yīng)氣體氣壓的波動而造成的對薄膜成分、結(jié)構(gòu)、色彩影響的不利因素;本實用新型采用電觸發(fā)引弧代替機械引弧;避免了使用引弧棒(絲)等機械方式引弧造成的污染、也可以避免引弧絲與陰極粘連所造成的失效問題。
聲明:
“真空電弧自動引弧裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)