本發(fā)明提供了一種氟化氫氣體的除水裝置及方法,能夠達到5N級及5N以上級氟化氫對水分雜質的要求,易于實現工業(yè)化生產。本發(fā)明所述除水塔頂設置冷凝器將反應產物A夾帶的氟化氫經冷凝回流至除水塔,減少物料損失和廢氣的產生;同時反應產物A經三廢系統處理后產物可回收利用。本發(fā)明工藝簡單,投資少,能耗小,易于實現工業(yè)化生產;所述氟化氫氣體的除水方法利用五氟化氯與水反應的特性,除水效率高,除水更徹底并且不會引入其他難分離雜質,高效地將氟化氫氣體的含水量降低至0.2×10
?6及以下,有效解決了現有除水方法效率低,產量低,易生成難分離固體雜質的問題。
聲明:
“氟化氫氣體的除水裝置及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯系該技術所有人。
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