本實(shí)用新型公開(kāi)了微蝕液循環(huán)再生系統(tǒng)。本實(shí)用新型包括調(diào)整失效微蝕液H2O2含量的調(diào)整系統(tǒng)、銅回收系統(tǒng)和自動(dòng)添加系統(tǒng),調(diào)整系統(tǒng)設(shè)有與微蝕槽相連的管路,調(diào)整系統(tǒng)通過(guò)管路與銅回收系統(tǒng)相連接,銅回收系統(tǒng)通過(guò)管路與自動(dòng)添加系統(tǒng)相連接,自動(dòng)添加系統(tǒng)設(shè)有與微蝕槽相連的管路。整個(gè)系統(tǒng)是封閉循環(huán)運(yùn)行,無(wú)需外排廢液,不會(huì)對(duì)環(huán)境造成危害;只需要添加消耗的添加劑就能不斷的再生合格的微蝕液,保證了微蝕刻的穩(wěn)定性和一致性,有效地降低了微蝕刻的成本,保證了微蝕刻的質(zhì)量。與此同時(shí),通過(guò)銅回收系統(tǒng)還能獲得高價(jià)值的副產(chǎn)品金屬銅,進(jìn)一步降低了處理成本。
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