本發(fā)明提供一種裝設于半導體廢氣處理設備中的粉塵過濾器,涉及粉塵過濾器技術領域。該裝設于半導體廢氣處理設備中的粉塵過濾器,包括過濾器外殼,所述過濾器外殼的內部活動安裝有腔體,所述腔體的左側外表面連通有進氣管,所述進氣管的外表面固定安裝有第一氣泵,所述腔體的一側設置有集塵槽,所述集塵槽的內部固定安裝有靜電吸附板。該裝設于半導體廢氣處理設備中的粉塵過濾器,很好地對廢氣中的粉塵進行了過濾,并對粉塵進行收集,防止粉塵對設備內部和外部造成污染,以及對人體造成危害,能夠對集塵槽內部的粉塵進行集中清理,以及便于對該粉塵過濾器進行維護檢修,拆裝簡單便捷。
聲明:
“一種裝設于半導體廢氣處理設備中的粉塵過濾器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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