本發(fā)明專利公開了一種探針測試系統(tǒng)、其操作方法及檢測方法,探針測試系統(tǒng)包括機(jī)座、探針頭冶具、探針點(diǎn)觸冶具、壓力檢測裝置、移動裝置、控制板卡、電源板卡和工控機(jī)。探針頭冶具裝設(shè)在工作臺表面,用于固定被測探針。探針點(diǎn)觸冶具位于工作臺上方,包括支撐件組件和垂直針,支撐件組件用于固定垂直針,使垂直針與電流檢測裝置電連接。被測探針與垂直針在移動裝置的帶動下相向觸碰,以通過壓力檢測裝置和電流檢測裝置測試被測探針的電氣和力學(xué)性能。本發(fā)明通過探針測試系統(tǒng)各個部件的具體結(jié)構(gòu)和相互配合實現(xiàn)了該系統(tǒng)能夠穩(wěn)定測試和評估探針的電氣和力學(xué)性能目的。
聲明:
“一種探針測試系統(tǒng)、其操作方法及檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)