本發(fā)明公開(kāi)了一種基于機(jī)械密封的
電化學(xué)地震檢波器及其封裝方法,所述電化學(xué)地震檢波器包括:固定圈、外殼、彈性膜和電極敏感核心;所述電極敏感核心置于兩個(gè)所述外殼之間,且所述電極敏感核心與外殼之間通過(guò)柔性密封墊圈密封;所述彈性膜置于每個(gè)所述外殼與固定圈之間,以實(shí)現(xiàn)固定圈與外殼之間的密封,所述外殼與所述固定圈之間通過(guò)機(jī)械方式固定。電極敏感核心采用MEMS加工技術(shù)制造出來(lái)后,將其密封在小的密封件中,再將小的密封件密封在大的外殼中,最后用螺絲加固完成整個(gè)檢波器的封裝。所有的硬接觸面之間均放置一層軟墊,螺絲加固時(shí),軟墊發(fā)生形變,實(shí)現(xiàn)機(jī)械密封。
聲明:
“基于機(jī)械密封的電化學(xué)地震檢波器及其封裝方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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