本發(fā)明提供一種精準(zhǔn)推進(jìn)探針的方法,該方法能夠?qū)Ρ∧みM(jìn)行無(wú)損測(cè)量,尤其適用于半導(dǎo)體半導(dǎo)體薄膜,具體地,利用感應(yīng)收縮簧的感應(yīng)端超出導(dǎo)電彈性針頭的一定距離進(jìn)行測(cè)距,并根據(jù)測(cè)距結(jié)果控制推進(jìn)速度和時(shí)間,且能夠監(jiān)測(cè)到探針與納米級(jí)厚度薄膜的接觸應(yīng)力大小。該探針?lè)椒ㄟm合對(duì)半導(dǎo)體半導(dǎo)體薄膜進(jìn)行無(wú)損、穩(wěn)定、可重復(fù)的準(zhǔn)確檢測(cè),同時(shí)也適合推廣到其它薄膜材料的電學(xué)檢測(cè)。
聲明:
“精準(zhǔn)推進(jìn)探針的方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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