本發(fā)明涉及一種光電器件界面缺陷表征方法及裝置,解決了現(xiàn)有技術(shù)中光電器件界面處缺陷不能無損檢測的技術(shù)問題。本發(fā)明的方法包括:建立待測光電器件的等效電路模型;在設(shè)定的直流偏壓下,根據(jù)設(shè)定的溫度范圍及溫度步長,在每個溫度下,變化待測光電器件兩端交流電壓的角頻率,利用所述等效電路模型,獲取所述光電器件總電容隨所述角頻率變化的測試曲線,得到不同溫度下的特征頻率;根據(jù)所述不同溫度下的特征頻率,線性擬合得到直線斜率;根據(jù)所述直線斜率,獲取所述光電器件的激活能和俘獲界面,根據(jù)所述激活能和俘獲界面表征光電器件的界面缺陷,實現(xiàn)對光電器件的無損檢測。
聲明:
“光電器件界面缺陷表征方法及裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)