本公開實施例公開了一種失效分析樣品的制作方法。所述方法包括:提供待測管芯;其中,所述待測管芯包括相對設(shè)置的正面和背面,所述待測管芯的正面通過第一膠層與第一基板之間粘接;將所述待測管芯的背面通過第二膠層與第二基板固定連接;其中,所述第二膠層的固化溫度小于所述第一膠層的熔化溫度,所述第二膠層的熔化溫度大于所述第一膠層的熔化溫度;在所述待測管芯的背面粘接有所述第二基板后,分離所述第一基板和所述待測管芯。
聲明:
“失效分析樣品的制作方法及失效分析樣品” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)