一種漩渦式探針、探針測試裝置、探針卡系統(tǒng)及多晶片模塊的失效分析方法。漩渦式探針包括一針體、一連接部與一漩渦彈簧。針體的一端具有一針尖。漩渦彈簧連接針體與連接部。漩渦彈簧包含一圈以上的旋繞體,這些旋繞體彼此共平面,且這些旋繞體的軸心與針體的長軸方向正交。故,通過上述架構(gòu),漩渦式探針不致于導(dǎo)電接點(diǎn)上橫向滑移,降低滑出導(dǎo)電接點(diǎn)的范圍的機(jī)會,以維持探針與導(dǎo)電接點(diǎn)之間的電接品質(zhì)及測試性能,以及縮小測試變數(shù)。
聲明:
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