久久看看永久视频,日日狠狠久久偷偷色,亚洲中文字幕在线网,午夜福利院中文字幕

  • <dfn id="vuqxj"><td id="vuqxj"></td></dfn>
  • <dfn id="vuqxj"></dfn>

    1. <div id="vuqxj"><option id="vuqxj"><b id="vuqxj"></b></option></div>
    2. 合肥金星智控科技股份有限公司
      宣傳

      位置:中冶有色 >

      有色技術(shù)頻道 >

      > 失效分析技術(shù)

      > 光刻工藝的對(duì)準(zhǔn)方法及其適用的光罩

      光刻工藝的對(duì)準(zhǔn)方法及其適用的光罩

      901   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
      2023-03-19 09:01:09
      本發(fā)明提供了一種光刻工藝的對(duì)準(zhǔn)方法及其適用的光罩。在本發(fā)明提供的光刻工藝的對(duì)準(zhǔn)方法中,通過在晶圓的刻蝕工藝中的當(dāng)前光罩的切割道版圖上形成至少一獨(dú)立于其已存在的第一對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的第二對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記,然后,光刻機(jī)臺(tái)在對(duì)光罩和晶圓進(jìn)行套刻精度測(cè)量時(shí),利用不受輔助圖形干擾的第二對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記為對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記,從而可以避免現(xiàn)有技術(shù)中利用附近形成有輔助圖形的第一對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記作為對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記,而導(dǎo)致的在晶圓的后續(xù)多次刻蝕工藝中,由于晶圓上形成的第一對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的圖形不清楚,造成的對(duì)準(zhǔn)量測(cè)程序?qū)?zhǔn)失效、對(duì)準(zhǔn)測(cè)量程序人工檢測(cè)工作量大以及刻蝕工藝的工作效率低的問題。
      聲明:
      “光刻工藝的對(duì)準(zhǔn)方法及其適用的光罩” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
      我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
      分享 0
               
      舉報(bào) 0
      收藏 0
      反對(duì) 0
      點(diǎn)贊 0
      標(biāo)簽:
      失效分析
      全國熱門有色金屬技術(shù)推薦
      展開更多 +

       

      中冶有色技術(shù)平臺(tái)微信公眾號(hào)
      了解更多信息請(qǐng)您掃碼關(guān)注官方微信
      中冶有色技術(shù)平臺(tái)微信公眾號(hào)中冶有色技術(shù)平臺(tái)

      最新更新技術(shù)

      報(bào)名參會(huì)
      更多+

      報(bào)告下載

      第二屆中國微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會(huì)
      推廣

      熱門技術(shù)
      更多+

      衡水宏運(yùn)壓濾機(jī)有限公司
      宣傳
      環(huán)磨科技控股(集團(tuán))有限公司
      宣傳

      發(fā)布

      在線客服

      公眾號(hào)

      電話

      頂部
      咨詢電話:
      010-88793500-807
      專利人/作者信息登記