本實用新型公開了一種加熱器底座,包括座體,所述座體內(nèi)開有兩個供加熱導(dǎo)體穿越的第一通孔、供接地導(dǎo)體穿越的第二通孔,所述座體的下部對應(yīng)所述第二通孔的部分開有用于露出所述接地導(dǎo)體下部的凹口。還公開了一種采用上述底座的加熱器。通過在加熱器的底座的下部對應(yīng)所述第二通孔的部分開有用于露出所述接地導(dǎo)體下部的凹口,從而騰出空間在接地導(dǎo)體的外圖繞置金屬片,并金屬線將金屬片和底座相連從而有效增大了接地導(dǎo)體的接地面積,有效減少了接地導(dǎo)體發(fā)生電弧放電的概率,進(jìn)而有效避免了高頻發(fā)生器反射能量的不穩(wěn)定造成晶圓報廢的危險。同時,也減少更換零部件的成本,減少更換零部件的維修時間,有效提高了生產(chǎn)效率。
聲明:
“加熱器底座及加熱器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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