1.本發(fā)明涉及廢水回收再利用技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種研磨廢水的處理裝置和處理方法。

背景技術(shù)：

2.研磨廢水是一種統(tǒng)稱，在芯片行業(yè)的晶棒、晶圓的制造和封裝測(cè)試過(guò)程中，需要經(jīng)過(guò)切割、研磨、劃片和減薄等工藝，產(chǎn)品經(jīng)過(guò)清洗后會(huì)產(chǎn)生大量的沖洗廢水，該類廢水的主要特點(diǎn)為：高固含量：一般顆粒(ss)含量為300～2000ppm，主要成分以sio2為主，還有一些硅酸鹽、氧化鈣、氧化鎂以及三氧化二鋁等；粒徑極細(xì)：該類廢水的顆粒粒徑常規(guī)在0.1～100μm之間，極難沉淀；低有機(jī)物：該類廢水的有機(jī)物含量較低(0.5～3mg/l)，通常只含有少量的表面活性劑；低鹽分：由于該類廢水大部分是采用純水或者高純水沖洗，所以該廢水的電導(dǎo)率極低。同時(shí)，所述研磨廢水中的cod含量《50mg/l，ph為6～8，石油類物質(zhì)的含量《1mg/l。

3.目前，針對(duì)該類廢水，常用的處理工藝如圖1所示，其是將該類廢水依次經(jīng)過(guò)調(diào)節(jié)池、反應(yīng)池、助凝池和沉淀池進(jìn)行處理后，得到的沉淀經(jīng)過(guò)污泥濃縮池，得到的沉淀和廢水的混合液依次經(jīng)過(guò)清水池和酸堿廢水系統(tǒng)進(jìn)行處理。但是該工藝面臨以下問(wèn)題：1、達(dá)不到直排標(biāo)準(zhǔn)需要再處理，造成資源浪費(fèi)；2、藥劑成本大：由于研磨液呈現(xiàn)出較強(qiáng)的穩(wěn)定性需要加入大量的絮凝劑才能起到絮凝作用，這無(wú)疑增加了企業(yè)的投入成本；3、污泥量大：隨著絮凝劑的大量加入，產(chǎn)生的污泥量也隨之增加，使得后續(xù)的污泥處理難度加大。由此可見(jiàn)，傳統(tǒng)的處理工藝成本高、處理難度大。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

4.本發(fā)明的目的在于提供一種研磨廢水的處理裝置和處理方法，所述處理裝置可以縮減處理工藝成本，降低處理難度。

5.為了實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明提供以下技術(shù)方案：

6.本發(fā)明提供了一種研磨廢水的處理裝置，包括原水池1、反應(yīng)池2、濃縮池3、有機(jī)管式膜4、產(chǎn)水池5、污泥池6和壓濾機(jī)7；

7.所述原水池1、反應(yīng)池2、濃縮池3、有機(jī)管式膜4和產(chǎn)水池5依次管路連接；

8.所述原水池1、反應(yīng)池2、濃縮池3、污泥池6和壓濾機(jī)7依次管路連接并形成循環(huán)回路。

9.優(yōu)選的，所述原水池1和反應(yīng)池2之間設(shè)置有原水泵8；

10.所述反應(yīng)池2設(shè)置有沉淀劑的加藥進(jìn)口。

11.優(yōu)選的，所述有機(jī)管式膜4通過(guò)管路回連濃縮池3。

12.優(yōu)選的，所述濃縮池3和有機(jī)管式膜4之間通過(guò)管路依次連接有供料泵9和循環(huán)泵10；

13.所述有機(jī)管式膜4通過(guò)管路回連循環(huán)泵10。

14.優(yōu)選的，所述污泥池6和壓濾機(jī)7之間通過(guò)管路連接有污泥泵11。

15.優(yōu)選的，所述產(chǎn)水池5還設(shè)置有中和劑的加藥進(jìn)口。

16.優(yōu)選的，所述有機(jī)管式膜4的膜孔徑為30nm，膜層厚度為50μm，膜管通道內(nèi)徑為8mm，支撐體材質(zhì)為聚酯無(wú)紡布，膜材質(zhì)為聚偏氟乙烯，最大工作壓力為0.62mpa，最高工作溫度為75℃，ph適用范圍為0～14。

17.優(yōu)選的，所述有機(jī)管式膜4的過(guò)濾方式為二級(jí)到八級(jí)膜組件串聯(lián)“錯(cuò)流”過(guò)濾。

18.本發(fā)明還提供了一種研磨廢水的處理方法，包括以下步驟：

19.將置于原水池1中的研磨廢水通入反應(yīng)池2中進(jìn)行沉淀處理后，通入濃縮池3中進(jìn)行濃縮，得到沉淀和廢水的混合液和濃縮污泥；

20.將所述沉淀和廢水的混合液通入有機(jī)管式膜4中進(jìn)行進(jìn)一步純化處理后，在產(chǎn)水池5中進(jìn)行中和處理后回收利用；

21.將所述濃縮污泥進(jìn)入污泥池6中通過(guò)壓濾機(jī)7對(duì)污泥進(jìn)行壓濾，壓濾后的污泥外運(yùn)，壓濾液回流至原水池1；

22.所述處理方法不包括絮凝、助凝過(guò)程。

23.優(yōu)選的，所述沉淀處理采用的沉淀劑包括石灰、碳酸鈉、氫氧化鈉和重金屬捕獲劑中的一種或幾種。

24.本發(fā)明提供了一種研磨廢水的處理裝置，包括原水池1、反應(yīng)池2、濃縮池3、有機(jī)管式膜4、產(chǎn)水池5、污泥池6和壓濾機(jī)7；所述原水池1、反應(yīng)池2、濃縮池3、有機(jī)管式膜4和產(chǎn)水池5依次管路連接；所述原水池1、反應(yīng)池2、濃縮池3、污泥池6和壓濾機(jī)7依次管路連接并形成循環(huán)回路。本發(fā)明利用所述有機(jī)管式膜能夠?qū)崿F(xiàn)高效分離，使沉淀和水快速、徹底分離，出水水質(zhì)得到強(qiáng)化的特性，使經(jīng)過(guò)反應(yīng)池和濃縮池進(jìn)行沉淀后生成的沉淀和廢水的混合液進(jìn)入有機(jī)管式膜中，在膜表面成型高紊亂狀態(tài)的湍流，形成錯(cuò)流循環(huán)，膜出水進(jìn)行產(chǎn)水池進(jìn)行回收再利用。

25.與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明所述的處理裝置具有以下優(yōu)勢(shì)：

26.1、流程短，無(wú)需與沉淀和過(guò)濾，占地面積??；

27.2、過(guò)濾精度高，產(chǎn)水質(zhì)量穩(wěn)定；

28.3、投加藥劑量少，成本低；

29.4、減少污泥產(chǎn)生量，污泥處理費(fèi)用低。

附圖說(shuō)明

30.圖1為傳統(tǒng)研磨廢水處理工藝的流程示意圖；

31.圖2為本發(fā)明所述的研磨廢水的處理裝置，其中，1-原水池，2-反應(yīng)池，3-濃縮池，4-有機(jī)管式膜，5-產(chǎn)水池，6-污泥池，7-壓濾機(jī)，8-原水泵，9-供料泵，10-循環(huán)泵，11-污泥泵。

具體實(shí)施方式

32.本發(fā)明提供了一種研磨廢水的處理裝置，包括原水池1、反應(yīng)池2、濃縮池3、有機(jī)管式膜4、產(chǎn)水池5、污泥池6和壓濾機(jī)7；

33.所述原水池1、反應(yīng)池2、濃縮池3、有機(jī)管式膜4和產(chǎn)水池5依次管路連接；

34.所述原水池1、反應(yīng)池2、濃縮池3、污泥池6和壓濾機(jī)7依次管路連接并形成循環(huán)回路。

35.作為本發(fā)明的具體實(shí)施例，所述原水池1和反應(yīng)池2之間設(shè)置有原水泵8；所述反應(yīng)池2設(shè)置有沉淀劑的加藥進(jìn)口。

36.作為本發(fā)明的具體實(shí)施例，所述有機(jī)管式膜4通過(guò)管路回連濃縮池3。

37.作為本發(fā)明的具體實(shí)施例，所述濃縮池3和有機(jī)管式膜4之間通過(guò)管路依次連接有供料泵9和循環(huán)泵10；所述有機(jī)管式膜4通過(guò)管路回連循環(huán)泵10。

38.作為本發(fā)明的具體實(shí)施例，所述有機(jī)管式膜4還通過(guò)管路回連所述供料泵9和循環(huán)泵10之間的管路。

39.作為本發(fā)明的具體實(shí)施例，所述污泥池6和壓濾機(jī)7之間通過(guò)管路連接有污泥泵11。

40.作為本發(fā)明的具體實(shí)施例，所述產(chǎn)水池5還設(shè)置有中和劑的加藥進(jìn)口。

41.作為本發(fā)明的具體實(shí)施例，所述有機(jī)管式膜4的膜孔徑為30nm，膜層厚度為50μm，膜管通道內(nèi)徑為8mm，支撐體材質(zhì)為聚酯無(wú)紡布，膜材質(zhì)為聚偏氟乙烯，最大工作壓力為0.62mpa，最高工作溫度為75℃，ph適用范圍為0～14。

42.作為本發(fā)明的具體實(shí)施例，所述有機(jī)管式膜4的過(guò)濾方式為二級(jí)到八級(jí)膜組件串聯(lián)“錯(cuò)流”過(guò)濾，優(yōu)選為三級(jí)膜組件串聯(lián)“錯(cuò)流”過(guò)濾。

43.在本發(fā)明中，所述有機(jī)管式膜具有以下優(yōu)點(diǎn)：分離精度高，孔徑分布窄，出水質(zhì)量高；流道寬，料液在管內(nèi)湍流流動(dòng)，對(duì)料液的預(yù)處理精度要求低；采用錯(cuò)流過(guò)濾的方式，抗污染性能好；化學(xué)穩(wěn)定性佳，能耐酸、耐堿、耐氧化；可反復(fù)清洗恢復(fù)滲透通量，使用壽命長(zhǎng)；膜組件的壓力損失小，因此可串聯(lián)多級(jí)膜組件，運(yùn)行能耗低；膜組件澆注一體成型，方便安裝及更換；易于清洗，清洗濃度要求低，清洗時(shí)間短。

44.本發(fā)明還提供了一種研磨廢水的處理方法，包括以下步驟：

45.將置于原水池1中的研磨廢水通入反應(yīng)池2中進(jìn)行沉淀處理后，通入濃縮池3中進(jìn)行濃縮，得到沉淀和廢水的混合液和濃縮污泥；

46.將所述沉淀和廢水的混合液通入有機(jī)管式膜4中進(jìn)行進(jìn)一步純化處理后，在產(chǎn)水池5中進(jìn)行中和處理后回收利用；

47.將所述濃縮污泥進(jìn)入污泥池6中通過(guò)壓濾機(jī)7對(duì)污泥進(jìn)行壓濾，壓濾后的污泥外運(yùn)，壓濾液回流至原水池1；

48.所述處理方法不包括絮凝、助凝過(guò)程。

49.本發(fā)明將置于原水池1中的研磨廢水通入反應(yīng)池2中進(jìn)行沉淀處理后，通入濃縮池3中進(jìn)行濃縮，得到沉淀和廢水的混合液和濃縮污泥。

50.在本發(fā)明中，所述研磨廢水的固體顆粒含量為300～2000ppm，固體顆粒粒徑為0.1～100μm，有機(jī)物含量為0.5～3mg/l，cod含量《50mg/l，ph為6～8，石油類物質(zhì)的含量《1mg/l。

51.本發(fā)明對(duì)所述研磨廢水的來(lái)源沒(méi)有任何特殊的限定，采用本領(lǐng)域技術(shù)人員熟知的來(lái)源即可。

52.在本發(fā)明中，所述沉淀處理采用的沉淀劑包括石灰、碳酸鈉、氫氧化鈉和重金屬捕獲劑中的一種或幾種；當(dāng)所述沉淀劑為上述具體選擇中的兩種以上時(shí)，本發(fā)明對(duì)上述具體

物質(zhì)的配比沒(méi)有任何特殊的限定，按任意配比進(jìn)行混合即可。

53.在本發(fā)明中，所述沉淀劑通過(guò)所述反應(yīng)池2中設(shè)置的沉淀劑的加藥進(jìn)口加入。

54.本發(fā)明對(duì)所述濃縮的過(guò)程沒(méi)有任何特殊的限定，采用本領(lǐng)域技術(shù)人員熟知的過(guò)程進(jìn)行即可。

55.得到沉淀和廢水的混合液和濃縮污泥后，本發(fā)明將所述沉淀和廢水的混合液通入有機(jī)管式膜4中進(jìn)行進(jìn)一步純化處理后，在產(chǎn)水池5中進(jìn)行中和處理后回收利用；將所述濃縮污泥進(jìn)入污泥池6中通過(guò)壓濾機(jī)7對(duì)污泥進(jìn)行壓濾，壓濾后的污泥外運(yùn)，壓濾液回流至原水池1。

56.在本發(fā)明中，所述純化處理的過(guò)程優(yōu)選為：將所述沉淀和廢水的混合液和氫氧化鈉混合進(jìn)行沉淀后，通入所述有機(jī)管式膜4中進(jìn)行分離。

57.在本發(fā)明中，所述有機(jī)管式膜4的過(guò)濾方式優(yōu)選為二級(jí)到八級(jí)膜組件串聯(lián)“錯(cuò)流”過(guò)濾。

58.在本發(fā)明中，所述膜組件串聯(lián)“錯(cuò)流”過(guò)濾的過(guò)程優(yōu)選為將所述沉淀和廢水的混合液依次經(jīng)過(guò)一級(jí)過(guò)濾組件、二級(jí)過(guò)濾組件至最后一級(jí)過(guò)濾組件進(jìn)行錯(cuò)流過(guò)濾后，從最后一級(jí)過(guò)濾組件濃縮液出口流出的部分濃縮液回流至濃縮池，剩余的回流至供料泵9與循環(huán)泵10之間的管路與供料泵9提供的物料混合。

59.本發(fā)明對(duì)所述中和劑的種類和用量沒(méi)有任何特殊的限定，采用本領(lǐng)域技術(shù)人員熟知的種類和用量使所述產(chǎn)水池中的產(chǎn)水的ph在6～9范圍內(nèi)即可。在本發(fā)明中，經(jīng)過(guò)產(chǎn)水池進(jìn)行中和后，還優(yōu)選包括反滲透脫鹽后進(jìn)行回收再利用。本發(fā)明對(duì)所述反滲透脫鹽的過(guò)程沒(méi)有任何特殊的限定，采用本領(lǐng)域技術(shù)人員熟知的過(guò)程進(jìn)行即可。

60.本發(fā)明對(duì)所述壓濾的過(guò)程沒(méi)有任何特殊的限定，采用本領(lǐng)域技術(shù)人員熟知的過(guò)程進(jìn)行即可。

61.下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明提供的一種研磨廢水的處理裝置和處理方法進(jìn)行詳細(xì)的說(shuō)明，但是不能把它們理解為對(duì)本發(fā)明保護(hù)范圍的限定。

62.實(shí)施例1

63.廢水處理裝置：包括原水池1、反應(yīng)池2、濃縮池3、有機(jī)管式膜4、產(chǎn)水池5、污泥池6和壓濾機(jī)7；所述原水池1、反應(yīng)池2、濃縮池3、有機(jī)管式膜4和產(chǎn)水池5依次管路連接；所述原水池1、反應(yīng)池2、濃縮池3、污泥池6和壓濾機(jī)7依次管路連接并形成循環(huán)回路；所述原水池1和反應(yīng)池2之間設(shè)置有原水泵8；所述反應(yīng)池2設(shè)置有沉淀劑的加藥進(jìn)口；所述有機(jī)管式膜4通過(guò)管路回連濃縮池3；所述濃縮池3和有機(jī)管式膜4之間通過(guò)管路依次連接有供料泵9和循環(huán)泵10；所述有機(jī)管式膜4通過(guò)管路回連循環(huán)泵10；所述有機(jī)管式膜4還通過(guò)管路回連所述供料泵9和循環(huán)泵10之間的管路；所述污泥池6和壓濾機(jī)7之間通過(guò)管路連接有污泥泵11；所述產(chǎn)水池5還設(shè)置有中和劑的加藥進(jìn)口；所述有機(jī)管式膜4的膜孔徑為30nm，膜層厚度為50μm，膜管通道內(nèi)徑為8mm，支撐體材質(zhì)為聚酯無(wú)紡布，膜材質(zhì)為聚偏氟乙烯，最大工作壓力為0.62mpa，最高工作溫度為75℃，ph適用范圍為0～14；

64.廢水處理方法：

65.研磨廢水的參數(shù)：顆粒物ss含量1200mg/l，cod含量為26mg/l，ph＝7.2，表面活性劑(種類不做限定)含量為0.8mg/l，石油類含量0.2mg/l

66.將置于原水池1中的研磨廢水通入反應(yīng)池2中進(jìn)行沉淀處理(采用的沉淀劑為氫氧

化鈉，所述研磨廢水的流量為30m3/h，沉淀劑的加入速率為控制原水ph＝10-10.5)后，通入濃縮池3中進(jìn)行濃縮，得到沉淀和廢水的混合液和濃縮污泥；

67.將所述沉淀和廢水的混合液和氫氧化鈉混合進(jìn)行沉淀后，通入所述有機(jī)管式膜4中依次經(jīng)過(guò)一級(jí)過(guò)濾組件、二級(jí)過(guò)濾組件至六級(jí)過(guò)濾組件進(jìn)行錯(cuò)流過(guò)濾后，從六級(jí)過(guò)濾組件濃縮液出口流出的部分濃縮液回流至濃縮池，剩余的回流至供料泵9與循環(huán)泵10之間的管路與供料泵9提供的物料混合，純化處理后的廢水經(jīng)過(guò)產(chǎn)水池進(jìn)行中和后，產(chǎn)水指標(biāo)：顆粒物ss含量＜1mg/l，濁度＜0.5ntu，sdi＜5，進(jìn)行反滲透脫鹽后回收再利用；

68.將所述濃縮污泥進(jìn)入污泥池6中通過(guò)壓濾機(jī)7對(duì)污泥進(jìn)行壓濾，壓濾后的污泥外運(yùn)，上清液回流至原水池1。

69.以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。技術(shù)特征：

1.一種研磨廢水的處理裝置，其特征在于，包括原水池(1)、反應(yīng)池(2)、濃縮池(3)、有機(jī)管式膜(4)、產(chǎn)水池(5)、污泥池(6)和壓濾機(jī)(7)；所述原水池(1)、反應(yīng)池(2)、濃縮池(3)、有機(jī)管式膜(4)和產(chǎn)水池(5)依次管路連接；所述原水池(1)、反應(yīng)池(2)、濃縮池(3)、污泥池(6)和壓濾機(jī)(7)依次管路連接并形成循環(huán)回路。2.如權(quán)利要求1所述的研磨廢水的處理裝置，其特征在于，所述原水池(1)和反應(yīng)池(2)之間設(shè)置有原水泵(8)；所述反應(yīng)池(2)設(shè)置有沉淀劑的加藥進(jìn)口。3.如權(quán)利要求1所述的研磨廢水的處理裝置，其特征在于，所述有機(jī)管式膜(4)通過(guò)管路回連濃縮池(3)。4.如權(quán)利要求1所述的研磨廢水的處理裝置，其特征在于，所述濃縮池(3)和有機(jī)管式膜(4)之間通過(guò)管路依次連接有供料泵(9)和循環(huán)泵(10)；所述有機(jī)管式膜(4)通過(guò)管路回連循環(huán)泵(10)。5.如權(quán)利要求1所述的研磨廢水的處理裝置，其特征在于，所述污泥池(6)和壓濾機(jī)(7)之間通過(guò)管路連接有污泥泵(11)。6.如權(quán)利要求1所述的研磨廢水的處理裝置，其特征在于，所述產(chǎn)水池(5)還設(shè)置有中和劑的加藥進(jìn)口。7.如權(quán)利要求1～6任一項(xiàng)所述的研磨廢水的處理裝置，其特征在于，所述有機(jī)管式膜(4)的膜孔徑為30nm，膜層厚度為50μm，膜管通道內(nèi)徑為8mm，支撐體材質(zhì)為聚酯無(wú)紡布，膜材質(zhì)為聚偏氟乙烯，最大工作壓力為0.62mpa，最高工作溫度為75℃，ph適用范圍為0～14。8.如權(quán)利要求7所述的處理裝置，其特征在于，所述有機(jī)管式膜(4)的過(guò)濾方式為二級(jí)到八級(jí)膜組件串聯(lián)“錯(cuò)流”過(guò)濾。9.一種研磨廢水的處理方法，其特征在于，包括以下步驟：將置于原水池(1)中的研磨廢水通入反應(yīng)池(2)中進(jìn)行沉淀處理后，通入濃縮池(3)中進(jìn)行濃縮，得到沉淀和廢水的混合液和濃縮污泥；將所述沉淀和廢水的混合液通入有機(jī)管式膜(4)中進(jìn)行進(jìn)一步純化處理后，在產(chǎn)水池(5)中進(jìn)行中和處理后回收利用；將所述濃縮污泥進(jìn)入污泥池(6)中通過(guò)壓濾機(jī)(7)對(duì)污泥進(jìn)行壓濾，壓濾后的污泥外運(yùn)，壓濾液回流至原水池(1)；所述處理方法不包括絮凝、助凝過(guò)程。10.如權(quán)利要求8所述的處理方法，其特征在于，所述沉淀處理采用的沉淀劑包括石灰、碳酸鈉、氫氧化鈉和重金屬捕獲劑中的一種或幾種。

技術(shù)總結(jié)

本發(fā)明涉及廢水回收再利用技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種研磨廢水的處理裝置和處理方法。本發(fā)明提供了一種研磨廢水的處理裝置，包括原水池(1)、反應(yīng)池(2)、濃縮池(3)、有機(jī)管式膜(4)、產(chǎn)水池(5)、污泥池(6)和壓濾機(jī)(7)；所述原水池(1)、反應(yīng)池(2)、濃縮池(3)、有機(jī)管式膜(4)和產(chǎn)水池(5)依次管路連接；所述原水池(1)、反應(yīng)池(2)、濃縮池(3)、污泥池(6)和壓濾機(jī)(7)依次管路連接并形成循環(huán)回路。所述處理裝置可以縮減處理工藝成本，降低處理難度。降低處理難度。降低處理難度。

技術(shù)研發(fā)人員：石風(fēng)強(qiáng) 尹燕亓 丁宏權(quán) 慶天

受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇峰科達(dá)技術(shù)股份有限公司

技術(shù)研發(fā)日：2022.12.29

技術(shù)公布日：2023/4/5