本發(fā)明涉及一種連續(xù)制備重量純度≥99.999%的金屬鑄錠的方法。該方法的工藝步驟包括:(1)將重量純度≥99.999%的金屬物料裝爐、抽真空至10-3Pa以上;(2)連續(xù)進(jìn)料裝置將步驟(1)的物料送入水冷坩堝中;(3)以電磁感應(yīng)熔煉的方式對水冷坩堝中的金屬物料進(jìn)行熔煉;(4)經(jīng)步驟(3)熔煉后得到的熔體進(jìn)入設(shè)置在水冷坩堝下方的水冷結(jié)晶器中,成型得到高純金屬鑄錠。本發(fā)明采用水冷銅坩堝感應(yīng)熔煉與水冷結(jié)晶器成型結(jié)合,同時(shí)采用連續(xù)進(jìn)料裝置,能夠?qū)崿F(xiàn)連續(xù)鑄錠生產(chǎn)、提高效率,所制備的高純金屬鑄錠,具有純度高,鑄錠物理性能好、成材率高、產(chǎn)品規(guī)格多樣化等優(yōu)點(diǎn),滿足集成電路對于高端薄膜制備的性能要求。
聲明:
“連續(xù)制備高純金屬鑄錠的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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