真空感應(yīng)熔煉去除硅中磷雜質(zhì)的方法,涉及一種硅提純方法。提供一種真空感應(yīng)熔煉去 除硅中磷雜質(zhì)的方法。將
多晶硅放入坩堝中,抽真空,預(yù)熱后關(guān)閉粗抽閥,開啟擴(kuò)散泵閥門 抽真空,接通中頻感應(yīng)加熱電源,坩堝開始感應(yīng)生熱,對坩堝內(nèi)的硅原料進(jìn)行低溫預(yù)熱,當(dāng) 溫度上升到600℃時,硅自身感應(yīng)生熱;增加中頻加熱功率為50~200kW,當(dāng)溫度達(dá)到1415℃ 以上時,硅開始熔化;熔化后,調(diào)節(jié)中頻加熱功率,使硅液溫度控制在1550~1850℃;待溫 度穩(wěn)定后,將真空度控制在1.2×10-2~1.0×10-1Pa;開始計(jì)時,保溫時間為45~120min;在 水冷銅盤中通入循環(huán)水,然后將熔煉完成的硅液澆注入模具中,快速凝固,即完成。
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