本發(fā)明提供了一種
鋁合金靶材及其制備方法,所述制備方法包括:按照靶材的元素比例進(jìn)行金屬單質(zhì)粉末的混合,將混合后的粉末裝入包套中進(jìn)行冷壓成型;然后將包套進(jìn)行焊接、脫氣;將脫氣后的包套進(jìn)行一次熱等靜壓處理,得到成型靶坯;將成型靶坯進(jìn)行真空熱處理,然后再次裝入包套進(jìn)行焊接、脫氣;將脫氣后的包套進(jìn)行二次熱等靜壓處理,得到鋁合金靶材。本發(fā)明所述方法采用
粉末冶金法來制備合金靶材,通過采用粉末混合、冷壓、兩次熱等靜壓處理,以及兩次熱等靜壓之間進(jìn)行的熱處理,有助于合金靶材中組織結(jié)構(gòu)的優(yōu)化,使得晶粒組織細(xì)小且分布均勻,不存在成分偏析,致密度高,機(jī)械加工性能優(yōu)良,能夠滿足濺射用靶材的使用要求。
聲明:
“鋁合金靶材及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)