本實用新型屬于用物理冶金技術(shù)提純
多晶硅的技術(shù)領(lǐng)域。一種電子束及渣濾熔煉提純多晶硅的設(shè)備,設(shè)備由爐門及真空爐壁構(gòu)成真空設(shè)備,真空設(shè)備的內(nèi)腔即為真空室;真空室底部固定安裝拉錠機(jī)構(gòu),拉錠機(jī)構(gòu)上安裝熔煉坩鍋,熔煉坩鍋外套裝加熱裝置,真空室底部還安裝有水冷支撐桿,水冷銅坩堝安裝于水冷支撐桿之上,加料裝置固定安裝于水冷銅坩堝上方真空爐壁頂部內(nèi)側(cè),水冷銅坩堝通過導(dǎo)流裝置連通熔煉坩堝,電子槍安裝于真空爐壁頂部,放氣閥安裝于真空爐壁之上。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單,構(gòu)思獨特,一臺設(shè)備綜合利用電子束熔煉除磷、渣濾熔煉除硼及定向凝固除金屬技術(shù)去除多晶硅中的磷、硼和金屬雜質(zhì),結(jié)構(gòu)緊湊,設(shè)備集成度高,提純效果好,生產(chǎn)效率高。
聲明:
“電子束及渣濾熔煉提純多晶硅的設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)