基于工業(yè)廢渣的硅鋁基環(huán)境修復材料的研發(fā)與應用 509     

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產(chǎn)品創(chuàng)新，基于同相類同相理論，研發(fā)針對淤泥固化、軟基處理軟土固化劑。固化過程中改變了固化土中孔徑分布并有效降低填充土壤顆粒間空隙，使土壤顆粒表面產(chǎn)生不可逆轉的凝結硬化，固化后的軟土具有很高的水穩(wěn)性和強度穩(wěn)定性。

電纜材料生產(chǎn)用粒料篩選裝置 566     

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本實用新型公開了一種電纜材料生產(chǎn)用粒料篩選裝置，涉及電纜粒料材料生產(chǎn)設備技術領域，包括輸料機構、散料機構和振篩機構，所述輸料機構設有出料端，所述散料機構設于輸料機構的出料端且與所述出料端相連通，所述散料機構內(nèi)形成有多路供輸料機構輸出電纜粒料分流的分流通道，所述輸料機構用于將電纜粒料經(jīng)由出料端輸送至散料機構，電纜粒料經(jīng)由分流通道打散后經(jīng)所述散料機構的下料端排出，所述振篩機構用于承接并篩分經(jīng)由散料機構打散后的電纜粒料。由于電纜粒料通過散料機構進行了打散處理，因此落至振篩機構的電纜粒料分布更加分散，有效避免落至振篩機構的電纜粒料分布過于集中，進而有效提升電纜粒料的篩分效果。

碳材料下料輸送裝置 996     

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本實用新型公開了一種碳材料下料輸送裝置，包括軌架；輸料機構包括安裝于所述軌架內(nèi)側并沿其長度方向滑動的螺旋輸送機，所述螺旋輸送機頂部一端具有進料口，所述螺旋輸送機底部一端具有出料口，所述出料口下端連接有布袋組件；下料組件包括料斗，所述料斗底部設置有可伸縮導料管，且該可伸縮導料管位于出料口正上方，當需要輸送并導出粉料時，推進電缸會推動螺旋輸送機向軌架一端移動，直至進料口與可伸縮導料管垂直對應為止，此時出料口及布袋組件位于成型模具正上方，當需要對粉料沖壓時，可推進電缸會帶動螺旋輸送機、出料口和布袋組件脫離成型模具，從而達到自動下料、輸送粉料和加工生產(chǎn)的作用。

碳粉生產(chǎn)用分級粉碎裝置 713     

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本實用新型涉及碳粉生產(chǎn)技術領域，且公開了一種碳粉生產(chǎn)用分級粉碎裝置，包括粉碎機構，所述粉碎機構下方設置有研磨機構；所述粉碎機構包括粉碎箱，所述粉碎箱上端固定連通有進料斗，所述粉碎箱上端內(nèi)部安裝有兩個粉碎輥。該碳粉生產(chǎn)用分級粉碎裝置，通過進料斗使破碎后的碳粉原料進入兩個粉碎輥之間，通過驅動裝置帶動兩個粉碎輥轉動，兩個轉動的粉碎輥將破碎的碳粉原料進行擠壓粉碎，粉碎后的碳粉原料通過過濾板進行過濾，較細的碳粉穿過過濾板進入研磨箱內(nèi)部進行，通過研磨機構再次進行精細化粉碎，從而達到分級粉碎的效果，讓碳粉原料研磨的更加均勻充分，通過振動電機振動帶動過濾板振動，過濾板振動加速上部的碳粉過濾，防止堆積堵塞。

重鈣粉超細研磨機 949     

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本實用新型提供一種重鈣粉超細研磨機，涉及重鈣粉生產(chǎn)技術領域，該重鈣粉超細研磨機，包括盒體，所述盒體的頂部固定連接有破碎機構，所述盒體的內(nèi)部固定連接有研磨機構，所述破碎機構包括上破碎盤和下破碎盤，所述下破碎盤底部的邊緣處固定連接有彈簧，所述彈簧的底端固定連接有第一支撐座，所述下破碎盤的底部固定安裝有振動電機，所述研磨機構包括上研磨盤和下研磨盤；下研磨盤使石灰石原料滾動，從而將其研磨成粉狀，避免了出現(xiàn)片狀的情況，具有研磨效果好的優(yōu)點，通過在下研磨盤的邊緣處設置連接桿和撥料板，避免了重鈣粉在盒體內(nèi)殘留的問題，通過設置齒條，破碎起來更加輕松，第三支撐桿和托環(huán)的設置，對下研磨盤進行支撐，可靠性高。

石粉砂磨裝置 343     

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本實用新型涉及石粉砂磨技術領域，具體為一種石粉砂磨裝置，包括殼體、電機、主動輪、從動輪、進料管、出料部、支腿、研磨部、連桿、篩板、彈簧、出料斗和安裝部；出料斗連接殼體，支腿連接出料斗，殼體設有研磨倉，連桿轉動連接殼體，研磨部連接連桿，從動輪連接連桿，電機連接殼體，主動輪連接電機，進料管連接殼體；安裝部通過彈簧與殼體連接，多個彈簧在安裝部的外側圓周均勻分布，安裝部上設有振動電機，篩板連接安裝部的內(nèi)壁，出料部一端連接安裝部，殼體上設有通孔，出料部穿過通孔。本實用新型中通過研磨部對石粉進行充分砂磨，有更好的砂磨效果，篩板將粗細不同的石粉進行分離，方便后續(xù)使用。

鎳鈷氫氧化物的回收系統(tǒng) 1082     

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本發(fā)明公開了一種鎳鈷氫氧化物的回收系統(tǒng)，該回收系統(tǒng)包括反應釜洗水回收系統(tǒng)、離心脫水母液回收系統(tǒng)、回收槽、上清液回收系統(tǒng)、以及固體回收系統(tǒng)，回收槽的進料口分別與反應釜洗水回收系統(tǒng)、離心脫水母液回收系統(tǒng)連通，上清液出口與上清液回收系統(tǒng)連通，回收槽的出料口與固體回收系統(tǒng)連通。本發(fā)明公開的回收方法將反應釜洗水和脫水母液單獨回收到回收槽中，進行鎳鈷氫氧化物的回收，回收得到的鎳鈷氫氧化物的雜質含量少，將回收到的鎳鈷氫氧化物返回到產(chǎn)品的壓濾、洗滌、離心脫水、閃蒸干燥、篩分除鐵和包裝的流程中，不但可以提高鎳鈷氫氧化物的最終產(chǎn)率，而且還能節(jié)約能耗，縮短回收流程，提高經(jīng)濟效益。

防止顆粒開裂的高鎳二元前驅體及其制備方法和應用 609     

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本發(fā)明屬于正極材料前驅體制備技術領域，具體涉及一種防止顆粒開裂的高鎳二元前驅體及其制備方法和應用。本發(fā)明公開的方法通過對高鎳二元前驅體制備工藝的綜合改進，可以制備出顆粒均勻度好、顆粒的強度高的防止球開裂的高鎳二元前驅體顆粒。采用本發(fā)明公開的防止顆粒開裂的高鎳二元前驅體的制備方法制備得到的高鎳二元前驅體可以應用于鋰離子電池正極材料的制備之中，采用本發(fā)明制備的不易開裂的高鎳二元前驅體制備得到的鋰離子電池具有更好的循環(huán)性能，使用壽命更長。

丙酮加氫生產(chǎn)異丙醇催化劑的制備方法 687     

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本發(fā)明公開了一種丙酮加氫生產(chǎn)異丙醇催化劑的制備方法，該催化劑以鋁源和鎂源合成的復合氧化物為載體，以Ni、Cu、Zn和Ce為活性組分。該催化劑的復合氧化物載體，具有有序孔道結構，特定孔徑，能較好的分散活性金屬，克服銅原子晶格聚積導致催化劑的活性下降的缺點；催化劑生產(chǎn)異丙醇的應用過程，丙酮經(jīng)催化劑加氫后進入固定床脫水反應器，再經(jīng)分離塔分離異丙醇，可避免水和異丙醇的共沸物的生成，降低了異丙醇精制的難度，同時配備兩套異丙醇脫水反應器，一開一閉，保證丙酮加氫制備異丙醇反應連續(xù)進行。

負載氨基酸離子液體的SBA-15型分子篩吸附劑及其制備方法、應用 1026     

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負載氨基酸離子液體的sba?型分子篩吸附劑及其制備方法、應用技術領域.本發(fā)明涉及功能材料和環(huán)保技術領域，具體涉及一種負載氨基酸離子液體的sba?型分子篩吸附劑及其制備方法、應用。背景技術.羰基硫(cos)是一種無色的有機酸性氣體，分子式為o＝c＝s。與硫化氫等其他硫化物類似，羰基硫也是一種有毒有害的污染物，在工業(yè)生產(chǎn)中需要對其進行無害化處理。常見的羰基硫處理方法包括還原法、水解法、吸附法等，其中吸附法的原理是利用特定的吸附劑(如分子篩)將羰基硫從混合氣體中吸附分離出來，然后進行針對性

7層共擠高阻隔材料吹膜機的制作方法 630     

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本發(fā)明涉及吹膜機技術領域，尤其涉及一種7層共擠高阻隔材料吹膜機。背景技術多層共擠薄膜技術是由三臺或三臺以上擠出機對幾種不同的樹脂進行擠出，進入機頭進行復合共擠，獲得具有一定功能的薄膜，用于非對稱與對稱高阻隔薄膜材料生產(chǎn)，包括農(nóng)畜牧草保鮮用牧草膜、食品真空包裝膜、藥物包裝膜、鋁電池包裝膜、軍工器械包裝膜、光學電子產(chǎn)品包裝膜等。現(xiàn)有的多層共擠吹膜設備造價高昂，操作復雜，一定程度上影響生產(chǎn)效率。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是為了解決現(xiàn)有技術中存在的缺點，而提出的一種7層共擠高阻隔材料吹膜機。為了實現(xiàn)上述目的，

五氧化二磷的冷卻裝置的制作方法 522     

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.本實用新型屬于五氧化二磷生產(chǎn)技術領域，特別涉及一種五氧化二磷的冷卻裝置。背景技術.五氧化二磷是化學工業(yè)中常用的原料和試劑，廣泛應用于各領域。目前工業(yè)上五氧化二磷的制備一般是采用氧化燃燒法：以黃磷為原材料，將黃磷加熱熔化后加入燃燒爐，燃燒爐內(nèi)通入經(jīng)過干燥處理的空氣與黃磷進行反應燃燒，生成五氧化二磷煙氣，再對五氧化二磷煙氣進行冷卻和沉降，制成五氧化二磷成品。在冷卻過程通常采用多個冷卻塔進行冷卻。.如申請?zhí)枮閏n.的專利公開了一種選擇性生產(chǎn)五氧化二磷的設備，燃磷爐經(jīng)煙

緊湊式五氧化二磷生產(chǎn)系統(tǒng)的制作方法 598     

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.本實用新型屬于五氧化二磷生產(chǎn)技術領域，特別涉及一種緊湊式五氧化二磷生產(chǎn)系統(tǒng)。背景技術.五氧化二磷是化學工業(yè)中常用的原料和試劑，廣泛應用于各領域。目前工業(yè)上五氧化二磷的制備一般是采用氧化燃燒法：以黃磷為原材料，將黃磷加熱熔化后加入燃燒爐，燃燒爐內(nèi)通入經(jīng)過干燥處理的空氣與黃磷進行反應燃燒，生成五氧化二磷煙氣，再對五氧化二磷煙氣進行冷卻和沉降，制成五氧化二磷成品。通常通過燃磷塔得到五氧化二磷煙氣，通過多個冷卻塔（串聯(lián)）對五氧化二磷煙氣進行冷卻，通過多個沉降塔（串聯(lián)）對五氧化二磷煙氣進行冷卻。.

用于風電吸波材料的攪拌裝置的制作方法 558     

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.本實用新型涉及吸波材料攪拌裝置設計領域，具體是指一種用于風電吸波材料的攪拌裝置。背景技術.所謂吸波材料，指能吸收或者大幅減弱其表面接收到的電磁波能量，從而減少電磁波的干擾的一類材料。在工程應用上，除要求吸波材料在較寬頻帶內(nèi)對電磁波具有高的吸收率外，還要求它具有質量輕、耐溫、耐濕、抗腐蝕等性能，風電吸波材料時指用于風力發(fā)電的特殊吸波材料。.風電吸波材料由各種類材料混合而成，往往在生產(chǎn)時需要用到混合裝置，并且在混合時可能需要將混合物加熱到特定溫度便于混合，混合物有一定的粘性，單向混合，可能混

透氣防臭構造的鞋底 1006     

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透氣防臭構造的鞋底，本方案首先通過以塑料、橡膠鞋底上均勻分布的小通孔，來直接、順暢的溝通鞋內(nèi)外氣體擴散、交流環(huán)境，實質性地顯著改善其透氣性；其次，為使鞋既透氣又防水，于鞋底內(nèi)表面覆一層透氣防水高分子功能膜PTFE，予其更好的穿著便利性；再次，于鞋底透氣小通孔內(nèi)充填松軟透氣的活性炭纖維材料，以其材料的吸附功能減少鞋內(nèi)異味。

固有頻率可反復調(diào)節(jié)的振動頭結構 966     

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本實用新型屬于諧振式結冰探測器振動頭結構設計領域，涉及一種固有頻率可反復調(diào)節(jié)的振動頭。所述固有頻率可反復調(diào)節(jié)的振動頭包括振動頭殼體(1)、端頭(2)、頻率調(diào)節(jié)套筒(3)和頻率調(diào)節(jié)工具(4)，其中，端頭(2)通過焊接固定在振動頭殼體(1)上，頻率調(diào)節(jié)套筒(3)通過螺紋連接在振動頭殼體(1)內(nèi)部，頻率調(diào)節(jié)工具(4)與頻率調(diào)節(jié)套筒(3)連接，通過轉動頻率調(diào)節(jié)工具(4)實現(xiàn)頻率調(diào)節(jié)套筒(3)在振動頭殼體(1)內(nèi)移動，實現(xiàn)振動頭內(nèi)部質量分布特性的改變，從而改變振動頻率。該結構簡單，操作方便，可大大降低零件報廢率。

具有防脫結構的一次性醫(yī)用帽 872     

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本實用新型涉及醫(yī)用帽技術領域，公開了一種具有防脫結構的一次性醫(yī)用帽，包括帽體，所述帽體的兩側均固接有固定塊，兩個所述固定塊的底部均固接有套繩，所述帽體的背面固接有固定帶，所述固定帶的底部固接有繞帶，所述繞帶的兩側均固接有連接帶，兩個所述連接帶的一端分別固接有魔術貼毛面和魔術貼勾面，利用兩側的套繩套在使用者的耳朵處，即可提供一定的防脫效果，利用繞帶、連接帶、魔術貼毛面和魔術貼勾面在使用者的脖頸處繞城一個圈，從而避免使用者在低頭時，帽子邊緣會漏出頭發(fā)，從而影響帽體的封閉效果，且為帽體的防脫效果又提供了一個有利條件。

藥用方便避孕帽 1041     

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本實用新型公開了一種計劃生育領域男用集防病、治病、避孕于一體的新型產(chǎn)品,該產(chǎn)品為在成膜物質內(nèi)添加滅菌、消毒、殺精、治病藥物合成,其形狀為帽體或帽體連接一個展開的薄膜體構成,因該產(chǎn)品在使用時具有使用方便、感覺自然、安全性強的特點且有無毒性、彈韌性、遇液體可變形化解的功用,因而不僅在計劃生育工作方面,而且對防治性病,愛滋病的傳播方面都會產(chǎn)生積極作用,因而有十分廣泛的社會效益和經(jīng)濟效益。

體聲波諧振結構及聲波器件 1391     

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本公開實施例提供一種體聲波諧振結構，包括：襯底；依次位于所述襯底上的反射結構、第一電極、壓電層和第二電極；其中，所述第一電極在所述襯底的正投影與所述反射結構在所述襯底的正投影的重疊區(qū)域為第一重疊區(qū)；第一凸起結構，位于所述壓電層或所述第二電極相對遠離所述襯底的一側；其中，所述第一凸起結構在所述襯底的正投影與所述第一重疊區(qū)至少部分重疊；第二凸起結構，至少部分位于所述第二電極相對遠離所述襯底的一側；其中，所述第二凸起結構在所述襯底的正投影與所述第一凸起結構在所述襯底的正投影至少部分重疊；修頻層，覆蓋所述第二電極、所述壓電層、所述第一凸起結構和所述第二凸起結構相對遠離所述襯底的表面。

檢測垃圾含水率的裝置 1135     

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本實用新型公開了一種檢測垃圾含水率的裝置，包括濕度傳感器、包裹層、填充物和外殼，所述濕度傳感器的中部以下插入填充物中，所述填充物放置在包裹層內(nèi)，包裹層外為外殼，所述外殼的底面和下部側壁設有均勻分布的通孔段，通孔段的開孔度為50?80％，濕度傳感器全部或部分處于外殼中。該裝置簡潔高效，運行穩(wěn)定，便于濕度傳感器的檢修和更換。

膜層及其沉積方法、半導體結構及其形成方法 988     

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本發(fā)明涉及半導體制造技術領域，尤其涉及一種膜層及其沉積方法、半導體結構及其形成方法。所述膜層沉積方法包括如下步驟：提供一介質層；傳輸前驅氣體和反應氣體至所述介質層表面，形成覆蓋于所述介質層表面的膜層和副產(chǎn)物；除去所述副產(chǎn)物，推動所述前驅氣體與所述反應氣體之間的化學反應正向進行。本發(fā)明提高了生成的膜層的純度，減少了所述膜層中夾雜的副產(chǎn)物，改善了膜層的結構穩(wěn)定性和抗摻雜能力，確保了最終生成的半導體器件結構的良率。

異硫茚二酰亞胺衍生物及其制備方法與應用 791     

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本發(fā)明涉及一種異硫茚二酰亞胺衍生物及其制備方法與應用，所述異硫茚二酰亞胺衍生物結構式如下：其中R和R’分別獨立選自烷基，烷氧基，芳基，烷基或烷氧基取代的芳基，部分氟取代或者全部氟取代的烷基，部分氟取代或者全部氟取代的芳基。本發(fā)明提供的異硫茚二酰亞胺衍生物具有較低的LUMO能級，較高的電子親和力和良好的空氣穩(wěn)定性，是一種穩(wěn)定的n?型半導體，可應用于有機效應晶體管，有機太陽能電池等器件。

海水場離淡化法 1165     

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一種淡化設備極其簡單、造價極其低廉、使用極其方便、淡化能耗和淡化成本均極低的海水淡化方法。采用接電源的電極板提供電場,利用電場疊加,使緊貼電極板兩電極板間的空間內(nèi)無電場、不緊貼電極板兩電極板間的其它空間被分隔成若干交替相間的有電場和無電場的小空間。把需要進行淡化的海水導入該大空間。導出有電場小空間內(nèi)的淡化水和無電場小空間內(nèi)的濃海水來使得淡化水與變濃海水分離。

海水場分淡化法 1021     

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一種淡化設備極其簡單、造價極其低廉、使用極其方便、淡化能耗和淡化成本均極低的海水(或苦咸水)淡化方法。在有電場的大空間內(nèi)排列若干接電源的淡構,從而使得該大空間被分成若干個交替相間的有電場小空間和沒有電場小空間。把需要進行淡化的海水(或苦咸水)導入該大空間內(nèi),分別導出有電場小空間內(nèi)的淡化水和沒有電場小空間內(nèi)的變濃海水(或苦咸水),使得淡化水與變濃海水(或苦咸水)分離。

殼聚糖席夫堿負載二價銅材料在制備β-硼基酯中的應用 752     

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本發(fā)明公開了一種殼聚糖席夫堿負載二價銅材料的制備方法以及在合成β?硼基酯化合物中的應用。材料以殼聚糖席夫堿為載體，固載的二價銅離子為催化活性成分，具體內(nèi)容為：殼聚糖席夫堿負載二價銅材料(CX@Cu)為催化劑、聯(lián)硼酸頻那醇酯為硼試劑、純水為溶劑，分別針對含有不同取代基團的α?丙烯基酯化合物物進行硼加成反應得到β?硼基酯化合物。該發(fā)明的殼聚糖席夫堿負載二價銅材料符合綠色化學中“省資源、少污染，減成本，可循環(huán)”的核心要求。且該方法不使用任何添加即可在水相中合成有機硼化物，為藥物分子和活性中間體的制備提供了新的方法，拓寬了制備有機硼化物的底物范圍，具有重要的理論和現(xiàn)實意義。

仿生電子眼及其制備方法 1009     

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本發(fā)明屬于電子眼相關技術領域，其公開了一種仿生電子眼及其制備方法，該制備方法包括：S1，在基板上制備像素結構，所述像素結構包括多個陣列化網(wǎng)格，所述基板為平面或曲面；S2，采用電流體動力學噴印技術在每一網(wǎng)格中逐個打印功能性材料，待網(wǎng)格中的功能性材料打印完成時立刻在所述網(wǎng)格的中心進行激光照射，以使所述功能性材料固化，其中，相鄰預設數(shù)量的網(wǎng)格為一組，每組的網(wǎng)格中打印的功能性材料的光吸收波長互不同；S3，對步驟S2得到的結構進行整體退火和封裝得到仿生電子眼。本申請采用激光局部加熱和電流體動力學噴印技術相結合解決了現(xiàn)有電子眼制備方法制備的電子眼成像精度低，成像質量差的技術問題。

VO₂合金半導體薄膜及制備方法和應用 1105     

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本發(fā)明提供了合金半導體薄膜及制備方法和應用，該合金半導體薄膜的化學式為Hf_xW_yV_1?x?yO₂，其中，0＜x＜1，0＜y＜1，本發(fā)明的合金半導體薄膜，利用HfO₂的帶隙(5.5eV)大于VO₂的帶隙(2.6eV)，使用Hf⁴⁺離子部分取代V⁴⁺離子，來提高VO₂的光學帶隙有效地提升薄膜的可見光透過率。同時，W離子為+6價，在VO₂中摻入W⁶⁺離子相當于引入了載流子，載流子引入越多，越容易驅動電子相變的發(fā)生，因此降低了相變溫度，選擇Hf⁴⁺離子和W⁶⁺離子部分取代V⁴⁺離子制備了Hf_xW_yV_1?x?yO₂合金體系從而實現(xiàn)了VO₂的高可見光透過率和對其相變溫度的調(diào)節(jié)。

制備可見光響應摻雜TiO₂的高溫熔融鹽方法 1019     

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本發(fā)明提供一種可見光響應摻雜TiO₂的高溫熔融鹽方法，包含以下步驟：將固態(tài)鹽置于密閉的耐高溫坩堝中加熱，使其熔融成離子液體；將含非金屬元素的前驅物和含鈦的前驅物材料混合均勻，置入熔融鹽中反應，反應過程在惰性氣體氣氛中進行；將所得產(chǎn)物先放入去離子水中浸泡再用去離子水和乙醇離心清洗數(shù)次，烘干后得到光催化材料。本發(fā)明方法所得光催化材料的紫外可見吸收光譜(UV?vis)吸收明顯增強，同時熒光性能大大增強，促進了光催化性能，同時反應過程中氣體污染小，原材料價格低廉且可反復使用，適于工業(yè)化生產(chǎn)。

多模-單模結構光纖表面等離子體共振傳感器及其檢測方法 839     

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本發(fā)明提出一種多模-單模結構光纖表面等離子體共振傳感器及其檢測方法，傳感器包括寬譜光源、光隔離器、光纖耦合器、光環(huán)形器、多模光纖、鍍膜敏感單元、光譜儀及計算機。寬譜光源發(fā)出的光傳輸進多模光纖纖芯，在多模光纖和單模光纖交界處，由于單模光纖芯徑遠小于多模光纖，多模光纖纖芯中的光信號部分泄漏到單模光纖包層中，在敏感單元處產(chǎn)生表面等離子體共振效應，對外界物質進行在線檢測。本發(fā)明充分利用泄漏到單模光纖包層的光進行檢測，避免對包層處理，排除了光纖包層殘留對傳感器的影響，提高了傳感器檢測靈敏度，降低了傳感器的制作難度，同時相對于多模-單模-多模結構的傳感器，本發(fā)明提高了傳感器光傳輸效率，實現(xiàn)了弱信號檢測。

激光輔助低溫生長氮化物材料的方法與裝備 1032     

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本發(fā)明公開了一種激光輔助低溫生長氮化物材料的方法及裝備，該方法將非氮元素的前驅體蒸汽和活性氮源前驅體氣體分別輸送到反應腔室內(nèi)溫度為250至800℃的襯底材料處，利用波長與活性氮源分子鍵共振波長相等的激光束作用于活性氮源氣體，使激光能量直接耦合至活性氮源氣體分子，加速NH鍵的斷裂，提供充足的活性氮源，使非氮元素與活性氮源發(fā)生化學反應，沉積第III族氮化物膜層材料，持續(xù)作用直到沉積物覆蓋整個襯底并達到所需厚度。裝備包括真空反應腔、氣體預混合腔、波長可調(diào)諧激光器和移動機構。本發(fā)明在提高活性氮源利用率和減少環(huán)境污染的基礎上，實現(xiàn)低溫環(huán)境下氮化物膜層材料的大面積、快速和高質量生長。