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      減小旋轉(zhuǎn)陽(yáng)極靶軌道層和基體層應(yīng)力的復(fù)合層結(jié)構(gòu)及其制備方法、靶盤(pán)

      803   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
      2023-03-18 14:33:12
      本發(fā)明涉及旋轉(zhuǎn)陽(yáng)極靶技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種減小旋轉(zhuǎn)陽(yáng)極靶軌道層和基體層應(yīng)力的復(fù)合層結(jié)構(gòu)及其制備方法、靶盤(pán)。該復(fù)合層結(jié)構(gòu)包括基體層以及軌道層;基體層上表面覆蓋有過(guò)渡層,且過(guò)渡層上表面覆蓋有軌道層;過(guò)渡層的熱膨脹系數(shù)介于基體層的熱膨脹系數(shù)和軌道層的熱膨脹系數(shù)之間;按質(zhì)量百分比,過(guò)渡層包括以下組分:20%~70%W,10%~50%Mo,5%~20%T,5%~20%Z;T為Re、Ta中的一種或兩種組合;Z為Nb、Hf、Ti中的一種或多種組合。本發(fā)明可有效減少軌道層龜裂和開(kāi)裂等現(xiàn)象的發(fā)生,使得復(fù)合層結(jié)構(gòu)的室溫?cái)嗔秧g性增大,減少帶有所述復(fù)合層結(jié)構(gòu)的靶盤(pán)的裂紋的產(chǎn)生,從而提升靶盤(pán)使用壽命,以使靶盤(pán)質(zhì)量提升。
      聲明:
      “減小旋轉(zhuǎn)陽(yáng)極靶軌道層和基體層應(yīng)力的復(fù)合層結(jié)構(gòu)及其制備方法、靶盤(pán)” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
      我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)
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