本發(fā)明涉及一種微波等離子體輔助的
多晶硅提純方法,將硅料放置于真空中頻感應(yīng)爐的
石墨坩堝后,將爐體抽真空至壓力≤1Pa;開啟中頻電源,以10~100℃/min的速率升溫至1500~1650℃,加熱直至硅料完全熔化;開啟微波源,通入反應(yīng)氣體,進行反應(yīng)熔煉;熔煉結(jié)束后,進行澆鑄,得到純度>99.999%的高純多晶硅。本發(fā)明結(jié)合了真空中頻精煉和微波等離子體反應(yīng)加熱進行除雜,反應(yīng)條件溫和,提純效果明顯,降低了能耗,有利于工業(yè)化生產(chǎn)。
聲明:
“微波等離子體輔助的多晶硅提純方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)