一種
硅烷氣體的制備方法,它涉及一種電子氣體的制備方法。本發(fā)明解決了現(xiàn)有制備硅烷氣體的工藝中催化速率難控制、催化劑加料困難、回收難度大,以及在三烷氧基硅烷的制備過程中硅銅觸體生產(chǎn)率低、反應(yīng)活性低,催化劑遇水易失效、產(chǎn)物易水解,及醇利用率低的問題。本發(fā)明的制備方法是:一、利用硅粉和醇制備三烷氧基硅烷;二、制備催化緩釋劑;三、采用步驟一的三烷氧基硅烷,在催化緩釋劑的作用下反應(yīng)制備得到硅烷氣體。本發(fā)明制備三烷氧基硅烷的選擇性達(dá)到95%,轉(zhuǎn)化率為90%;本發(fā)明中三烷氧基硅烷的分解率為99.8%,硅烷產(chǎn)率為90~93%,純度為99%,硅烷可用于制造非晶硅薄膜
太陽能電池及LED、LCD行業(yè)。
聲明:
“硅烷氣體的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)