本發(fā)明涉及冶金法
多晶硅生產(chǎn)中高效定向凝固除雜的工藝。其技術(shù)方案是:a.預(yù)熱:對(duì)坩堝中的硅料進(jìn)行緩慢預(yù)熱,預(yù)熱真空度達(dá)到0.8Pa以下,預(yù)熱溫度范圍:室溫~1200℃,預(yù)熱時(shí)間:6~10h,預(yù)熱中要求完全保溫;b.熔化:緩慢充入氬氣至60Pa,保持一定的熔化真空度;溫度為1200℃~1550℃之間,時(shí)間為5~7h,保溫;c.真空:停止充入氬氣至5Pa,保持1h,再緩慢充入氬氣至60Pa;溫度為1550~1440℃之間,真空降壓、升壓,時(shí)間為2~3h;d.定向凝固結(jié)晶:連續(xù)充入氬氣保持60Pa;溫度為1440℃~1420℃;時(shí)間:22~26h,保溫隔熱籠逐步開(kāi)啟;e.冷卻:連續(xù)充入氬氣保持80Pa;降低功率1~1.5h后溫度降至1200℃,關(guān)閉功率后至300℃;冷卻時(shí)間為10~13h;保溫隔熱籠開(kāi)啟。使用本發(fā)明提純除雜效果良好。提純除雜后中金屬雜質(zhì)含量產(chǎn)品達(dá)到了6N~7N太陽(yáng)能多晶硅的等級(jí)要求。
聲明:
“利用多晶硅鑄錠爐進(jìn)行高效定向凝固除雜的工藝” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)