本實(shí)用新型公開(kāi)了一種去除
多晶硅中磷雜質(zhì)的設(shè)備,包括真空室、真空室內(nèi)的
石墨坩堝、設(shè)于石墨坩堝外部的保溫套以及纏繞在保溫套外壁上的感應(yīng)線圈,其特征在于,所述石墨坩堝內(nèi)設(shè)有攪拌機(jī)構(gòu),所述攪拌機(jī)構(gòu)包括豎直設(shè)置的攪拌槳以及導(dǎo)流筒,所述導(dǎo)流筒通過(guò)安裝架與真空室頂壁固定連接,所述攪拌槳的槳葉處于所述導(dǎo)流筒內(nèi)。本實(shí)用新型通過(guò)在石墨坩堝內(nèi)設(shè)置攪拌機(jī)構(gòu),可以讓熔融的硅液在石墨坩堝內(nèi)上下翻滾,使得磷蒸汽能夠迅速揮發(fā),降低能耗和成本。
聲明:
“去除多晶硅中磷雜質(zhì)的設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)