本發(fā)明涉及物理冶金級(jí)硅
太陽(yáng)能電池制造過(guò)程中的擴(kuò)散工藝,尤其是一種能提升冶金級(jí)硅片少子壽命的擴(kuò)散工藝。其特點(diǎn)是,包括如下步驟:(1)低溫進(jìn)舟、初步升溫;(2)通源擴(kuò)散;(3)恒溫推進(jìn);(4)降溫、退舟。本發(fā)明的有益效果是:1.采用噴淋式擴(kuò)散可節(jié)省磷源,同時(shí)提高擴(kuò)散結(jié)深的均勻性,并且適合做高方阻;2.針對(duì)物理冶金硅的特性,采用雙面磷吸雜,增強(qiáng)吸雜效果,提升硅片少子壽命;3.通過(guò)溫度與時(shí)間的協(xié)調(diào),有效改善擴(kuò)散工藝;4.控制通氧與通源量的比例,減少由于直接擴(kuò)散引起的缺陷,改善PN結(jié)結(jié)深,也可改善表面鈍化效果,提高短路電流與開(kāi)路電壓,進(jìn)而提升冶金硅太陽(yáng)能電池轉(zhuǎn)換效率及成品率。
聲明:
“能提升冶金級(jí)硅片少子壽命的擴(kuò)散工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)