一種冶金法N型
多晶硅片硼吸雜方法,涉及一種多晶硅。提供一種吸雜效果較好、成本較低、操作簡單,適合工業(yè)化生產(chǎn)的冶金法N型多晶硅片硼吸雜方法。將冶金法N型多晶硅片清洗,烘干;將得到的硅片在700~1200℃的溫度下通入氣體進行硼擴散吸雜熱處理,然后冷卻硅片;將得到的硅片浸泡在HF溶液中;將得到的硅片用酸腐蝕液腐蝕吸雜層,清洗后吹干,烘烤,得硼吸雜后的多晶硅片。
聲明:
“冶金法N型多晶硅片硼吸雜方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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