久久看看永久视频,日日狠狠久久偷偷色,亚洲中文字幕在线网,午夜福利院中文字幕

  • <dfn id="vuqxj"><td id="vuqxj"></td></dfn>
  • <dfn id="vuqxj"></dfn>

    1. <div id="vuqxj"><option id="vuqxj"><b id="vuqxj"></b></option></div>
    2. 合肥金星智控科技股份有限公司
      宣傳

      位置:中冶有色 >

      有色技術頻道 >

      > 電冶金技術

      > 單晶硅太陽能電池片的干法刻蝕工藝

      單晶硅太陽能電池片的干法刻蝕工藝

      847   編輯:管理員   來源:中冶有色技術網(wǎng)  
      2023-03-18 14:46:02
      本發(fā)明涉及一種單晶硅太陽能電池片的干法刻蝕工藝。其特點是,包括如下步驟:(1)將裝好硅片的夾具放入等離子體刻蝕機腔體,硅片數(shù)量200~1000片;(2)抽真空;(3)通入反應氣體CF4和O2,控制CF4流量在190-210sccm,O2流量25-35sccm,直至工作壓力達到200-220psig;(4)輝光放電,氣體反應;(5)再次抽真空,然后恢復常壓;(6)打開腔體門,取出夾具,卸片即可。本發(fā)明提供了一種物理冶金法單晶硅太陽能電池片的干法刻蝕工藝,適用于125×125mm物理冶金法單晶硅太陽能電池,采用該工藝可以去除擴散后硅片邊緣的短路環(huán),使刻蝕后的硅片符合工藝要求,杜絕過刻或刻不透。
      聲明:
      “單晶硅太陽能電池片的干法刻蝕工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
      我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
      分享 0
               
      舉報 0
      收藏 0
      反對 0
      點贊 0
      標簽:
      電冶金技術
      全國熱門有色金屬技術推薦
      展開更多 +

       

      中冶有色技術平臺微信公眾號
      了解更多信息請您掃碼關注官方微信
      中冶有色技術平臺微信公眾號中冶有色技術平臺

      最新更新技術

      報名參會
      更多+

      報告下載

      第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會
      推廣

      熱門技術
      更多+

      衡水宏運壓濾機有限公司
      宣傳
      環(huán)磨科技控股(集團)有限公司
      宣傳

      發(fā)布

      在線客服

      公眾號

      電話

      頂部
      咨詢電話:
      010-88793500-807
      專利人/作者信息登記