本發(fā)明公開了一種高致密度鉬鈮合金靶材及其制備工藝,首先按重量百分比計量稱取以下組分:鈮粉5%~15%,氫化鋯0.1%~0.8%,余量為鉬粉,研磨、混勻后采用冷等靜壓壓制成型,再進行真空燒結(jié),或者在氫氣氣氛中預(yù)燒結(jié)后再進行真空燒結(jié),最后機加工,即得。本發(fā)明利用氫化鋯的活化作用,采用普通的
粉末冶金工藝直接制備高致密度的鉬鈮合金濺射靶材,工藝簡單,成本低;同時避免了氣孔造成的微粒飛濺,保證了鍍膜質(zhì)量;克服了熔煉鑄造工藝組織粗大、成分不均,熱壓、熱等靜壓工藝的滲碳、成本高,鍛造或軋制加工流程長、成品率低的缺點。
聲明:
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