本實(shí)用新型提供了一種半導(dǎo)體真空燒結(jié)機(jī)構(gòu),包括爐體和鉸接安裝在所述爐體上的爐蓋,所述爐蓋可做蓋合或打開狀態(tài)的切換;還包括沿橫向從左至右依次設(shè)置的預(yù)熱部、真空燒結(jié)部和冷卻部,通過爐蓋與爐體的鉸接式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),制造成本低,便于裝拆和爐體的維護(hù),同時通過依次設(shè)置的預(yù)熱部、真空燒結(jié)部和冷卻部,以完成流水線式連續(xù)的預(yù)熱、真空燒結(jié)和冷卻工作,工作周期較短,制造成本較低,預(yù)熱部多個預(yù)熱模塊的設(shè)置可以根據(jù)工藝需求設(shè)置預(yù)熱溫度、升溫速度和升溫時間;真空燒結(jié)部中活動式罩殼的設(shè)置可以在真空燒結(jié)過程中與支撐臺形成具有一定負(fù)壓的空間進(jìn)行燒結(jié),并在真空燒結(jié)完成后遠(yuǎn)離支撐臺以便進(jìn)行物料的輸送。
聲明:
“半導(dǎo)體真空燒結(jié)機(jī)構(gòu)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)