金屬?陶瓷復(fù)合襯底的制造方法及其制造的復(fù)合襯底,屬于陶瓷金屬化技術(shù)領(lǐng)域。包括如下步驟:在陶瓷基板的表面形成第一釬焊料層,第一釬焊料層為銅、銀和活性金屬釬焊料層。在第一釬焊料層的表面形成第二釬焊料層,第二釬焊料層為銅和銀釬焊料層。在第二釬焊料層的表面形成銅層。真空燒結(jié)金屬?陶瓷復(fù)合襯底前體。此制造方法在真空燒結(jié)的時(shí)候,第一釬焊料層的活性金屬與陶瓷發(fā)生反應(yīng),結(jié)合力高,耐熱沖擊性強(qiáng)。第二釬焊料層的銅和銀與銅箔發(fā)生共晶反應(yīng),其與銅箔的結(jié)合緊密,同時(shí),由于采用兩層釬焊料,一方面降低了銀含量,成本更低,另一方面降低了活性金屬含量,降低了電氣阻抗,金屬?陶瓷復(fù)合襯底的耐高壓、耐大電流的性能更強(qiáng)。
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