一種利用金剛線切割廢硅粉生產(chǎn)2N級(jí)低硼硅技術(shù)及工藝集成,包括以下步驟,氣流分級(jí):將金剛線切割產(chǎn)生的廢硅粉烘干后作為原料,利用氣流分級(jí)機(jī)將粒徑為0.1~10um的硅粉收集,所收集的硅粉即為低硼硅粉;制坯并真空烘干:將低硼硅粉與純水混合,得到泥料,將泥料制坯后放入烘箱中真空烘干,得到干燥坯料;真空燒結(jié):將得到的干燥坯料在燒結(jié)爐內(nèi)進(jìn)行高溫?zé)Y(jié),得到2N級(jí)低硼硅。采用的工藝徹底告別以往的酸液清洗工藝,物理法分離能有效的保證硅粉的純度及后期提純產(chǎn)出率,采用燒結(jié)法對(duì)硅粉進(jìn)行固化,工藝路線緊湊,杜絕了二次污染。
聲明:
“利用金剛線切割廢硅粉生產(chǎn)2N級(jí)低硼硅技術(shù)及工藝集成” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)