一種高致密低電阻氧化鈮旋轉(zhuǎn)靶材及其制備方法,該靶材密度≥4.5g/cm
3,電阻率≤1.4×10
?3Ω·cm,長度≥400mm,壁厚6—14mm。制備方法包括以下步驟:1)粉末混合:將氧化鈮粉末與金屬鈮粉進(jìn)行機(jī)械混合均勻;2)粉末預(yù)燒:對(duì)步驟1)中混合后粉末進(jìn)行真空預(yù)燒;3)粉末處理:對(duì)預(yù)燒粉末進(jìn)行球磨處理;4)冷等靜壓成型:對(duì)處理粉末裝入模具中冷等靜壓預(yù)壓成型旋轉(zhuǎn)靶材坯體;5)坯體車削加工:對(duì)靶材坯體進(jìn)行車削加工;6)真空熱壓燒結(jié):對(duì)加工坯體置入石墨模具中進(jìn)行熱壓真空燒結(jié);7)靶坯加工:對(duì)燒結(jié)旋轉(zhuǎn)靶材靶坯按尺寸加工,即得到高致密低電阻旋轉(zhuǎn)氧化鈮靶材。該靶材導(dǎo)電性較好,具有較好的物理和化學(xué)性能,有效提高靶材產(chǎn)品質(zhì)量。
聲明:
“高致密低電阻氧化鈮旋轉(zhuǎn)靶材及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)