本發(fā)明涉及一種氧化鈮旋轉(zhuǎn)靶材及其制備方法,其制備方法包括:氧化鈮噴涂粉的制備,噴涂基體的處理,噴涂打底層,用等離子噴涂工藝在基體管上噴涂氧化鈮噴涂粉。通過本發(fā)明方法制備的氧化鈮旋轉(zhuǎn)靶材結(jié)構(gòu)致密、成分均勻,無裂紋,其噴涂長度和直徑不受限制,厚度可達到12mm;密度為4.6—5.2g/cm3,靶的成分為Nb2O4.3-4.9。本發(fā)明方法生產(chǎn)過程簡單便捷,成本較低。
聲明:
“氧化鈮旋轉(zhuǎn)靶材及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)