一種含有摻雜劑元素的石墨靶材的制備方法,它涉及一種石墨靶材的制備方法。它解決了目前傳統(tǒng)方法制備的石墨靶材產(chǎn)生大量宏觀粒子、降低了作為陰極電弧源所制得的非晶金剛石薄膜的質(zhì)量以及高壓石墨靶產(chǎn)生的等離子體束強度弱、熔覆效率低、易裂開以及電阻率高的問題。制備:(一)稱取石墨粉末和摻雜劑元素粉末進行球磨;(二)真空干燥混合粉末;(三)抽出塑料橡膠套與鋼性圓筒內(nèi)壁間的空氣;(四)灌粉;(五)預(yù)壓,然后再冷等靜壓;(六)卸壓;(七)燒結(jié);(八)冷卻,即得到含有摻雜劑元素的石墨靶材。本發(fā)明制備出的含有摻雜劑元素的石墨靶材質(zhì)量密度達2.06g/cm3,內(nèi)部殘留的氣體少,電弧斑點直徑僅為1~5μm,而且電阻率≤7.8×10-5Ω·cm,所制成的含有摻雜劑元素的石墨靶電弧放電電流穩(wěn)定。
聲明:
“含有摻雜劑元素的石墨靶材的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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