本發(fā)明屬于
新材料領(lǐng)域,具體涉及一種AZO靶材的制備方法,包括:通過AZO原料制備AZO噴涂材料;以及將AZO噴涂材料通過噴涂方式制成AZO靶材。本申請(qǐng)的制備方法通過制備AZO噴涂材料和噴涂工藝兩步制成AZO靶材,提高了靶材的均勻性,也簡化了靶材的生產(chǎn)工藝,提高了生產(chǎn)效率,節(jié)約了生產(chǎn)成本。
聲明:
“AZO靶材的制備方法及AZO靶材” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)