本發(fā)明公開了一種透明陶瓷微流控
芯片及其制備方法,所述微流控芯片的基體為透明陶瓷,所述透明陶瓷的中間平面還設(shè)置有可吸收激光的物質(zhì)或相成分,所述微流控芯片的微通道采用激光聚焦刻蝕加工法構(gòu)建。步驟S1:選定物質(zhì)或相成分;步驟S2:稱量、球磨、烘干并過篩得到原料粉體一;步驟S3:稱量、球磨、烘干并過篩得到原料粉體二;步驟S4:獲得密實的陶瓷坯體;步驟S5:將所述陶瓷坯體放置于馬弗爐中進(jìn)行保溫,得到陶瓷素坯;步驟S6:燒結(jié),得到透明陶瓷;步驟S7:將所述透明陶瓷進(jìn)行表面拋光處理后,進(jìn)行激光聚焦刻蝕加工,激光聚焦于透明陶瓷的中間平面,所述中間平面的物質(zhì)或相成分可吸收激光實現(xiàn)刻蝕加工,獲得微通道構(gòu)型的透明陶瓷微流控芯片。
聲明:
“透明陶瓷微流控芯片及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)