本發(fā)明涉及一種靶材用鉬鈮合金板的制備方法。其特點(diǎn)是,包括如下步驟:首先將鉬粉和鈮粉按照5~15:85~95的質(zhì)量比混合得到混合粉,將該混合粉壓成合金坯,然后進(jìn)行燒結(jié),燒結(jié)過(guò)程中通入氫氣進(jìn)行保護(hù),當(dāng)燒結(jié)溫度到1000℃保溫2~3小時(shí),再升溫到1700℃保溫2~3小時(shí),然后升溫到1950℃保溫8~10小時(shí),最終燒結(jié)成合金坯狀,再經(jīng)過(guò)1200~1400℃高溫煅造后在1500~1600℃下軋制成板材即可。本發(fā)明提供了一種成本低廉,質(zhì)量等各方面能滿足要求的靶材用鉬鈮合金板的新方法,產(chǎn)品主要應(yīng)用于平板顯示器等領(lǐng)域。
聲明:
“靶材用鉬鈮合金板的制備方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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