本發(fā)明公開了一種高精度材料放氣率測試系統(tǒng)及其測試方法,屬于高精度材料放氣率測試領域,包含第一真空室、第二真空室、第三真空室、第一小孔元件、第二小孔元件、第一真空計、第二真空計、第三真空計、機械泵、第一分子泵、第二分子泵、第一真空閥門、第二真空閥門、第三真空閥門、第四真空閥門、第五真空閥門、第六真空閥門,第七真空閥門,第八真空閥門,第九真空閥門,本發(fā)明采用包含對稱結構材料放氣測試裝置和溫控單元的系統(tǒng),采用兩個結構和尺寸均相同的測量室,對稱結構的材料放氣測試系統(tǒng)實現(xiàn)了樣品和測試系統(tǒng)本底放氣的同時測量,不僅提高了測量精度,而且將原有的測量過程縮短了一半時間,提高了測量效率。
聲明:
“高精度材料放氣率測試系統(tǒng)及其測試方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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