本發(fā)明提供一種新型石英坩堝的制備方法,制備毛坯坩堝,所述毛坯坩堝從內(nèi)到外依次包括透明層和氣泡層;在所述透明層遠離所述氣泡層一側涂敷一層內(nèi)涂層;在所述氣泡層遠離所述透明層一側涂敷一層外涂層。本發(fā)明設計的新型石英坩堝的制備方法,可防止石英坩堝上端開口處的變形,提高石英坩堝的強度,提高石英坩堝的使用壽命;同時利用該石英坩堝拉制出的單晶硅棒的尾部壽命可達到均有所提高,單晶硅棒的成晶率好,且轉化效率高,使用于P型和N型單晶硅棒的拉制,適普性高。
聲明:
“新型石英坩堝的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)